為了保證潔淨室內潔淨度的要求，平時必須維持一定的正壓值，對不同等級的潔淨室或潔淨區，與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa，潔淨區與室外靜壓差不應小於10Pa.
維持潔淨室正壓的方法有：
1. 安裝餘壓閥：即在潔淨室的下風向側的牆七安裝，預先調整餘壓閥維持室內正壓值的開啟度，通過餘壓閥開啟關閉調整維持正壓值，采用餘壓閥時應注意長期使用會關閉不嚴。2. 送風量大於回風量的方法維持室內正壓。
3. 通過安裝在回風口或支風管道上的對開式多葉調節閥來維持室內止值。這種方法簡單方便，但精確度不如餘壓閥高。
4. 在回風口處安裝空氣阻尼層，阻尼層材料有尼龍紗、尼龍篩網（孔眼>100目）、在堿液中浸泡過的中細孔泡沫塑料、無紡布等、即通過回風阻尼層阻力逐漸增加而使室內正壓增加。該種方法隻適用於走廊或套間回風方式。
5. 要求潔淨室（區）外圍護結構密封性能良好。