隨著電子行業的飛速發展，潔淨技術也在飛速的發展中。潔淨空調係統是實現潔淨室控製的主要手段。潔淨室送風和回風設計是影響潔淨室是否達標的重要因素，本文主要從回風係統入手，提出在潔淨室回風係統設計中易出現的問題，對其分析並提出解決辦法。
1 回風口位置設置常見問題
目前，非單向流是潔淨室氣流組織的主要采用方式，即高效送風口頂送（或側上送）側下回風；高效送風口布置形式為吊頂均布，或是布置於受保護的工藝生產線上方，回風口布置於側牆下方。《工業潔淨廠房設計規範》GB50457-2008指出：回風口位置宜遠離潔淨工作台；易產生汙染的工藝設備附近應設排風口；有局部排風裝置或需排風的工藝設備，宜布置在潔淨室下風側。
由於送風口的布置是影響房間氣流組織及空調參數的主要因素，因此，許多潔淨室回風口布置存在以下幾點問題：有的回風口隨意布置於空餘牆角或牆邊，忽略了氣流流向對工藝操作麵的影響；有的設計回（排）風口又遠離產生汙染的工藝設備（如粉碎機等），這些工藝設備產生的汙染空氣會流到相對潔淨區域甚至全潔淨室；有的回風口布置的太少，回風速度偏大，導致全室空氣流向一處，必然存在死角，潔淨空氣難以到達。
因此，在潔淨室空調設計時，要同時參考建築底圖和工藝布置圖，根據工藝要求進行設計：根據生產工藝特點，潔淨度要求高的，回風口布置在遠離設備側；產塵或產生其它汙染氣體的，回（排）風口布置在最靠近設備處；同時，風速不宜過大，以不大於2m/s為宜，這樣，才能保證潔淨室的潔淨度，不增加衛生死角，最大限度的保證潔淨室工藝設備的安全有效使用。
2 回風夾道共用問題
因潔淨室造價較高，常出現所留空調設計空間較小的情況，所以潔淨室空調設計中會出現兩相鄰潔淨室共用同一回風夾道的情況，一般情況下，相鄰潔淨室壓差不同，這樣的設計導致相對壓力值低的潔淨室無法回風，壓力高的房間空氣壓入相對低壓力房間，正壓值不能準確調試，有序的壓力梯度分布保持潔淨室的潔淨度非常重要，而共用回風夾道的設計和可能引起交叉汙染。
3 回風口設置過濾器問題
有些潔淨室在回風口加設一層初效或中效無紡布過濾器，這種做法的好處：首先，增加潔淨室的美觀性；其次，增加回風口的阻力，使得各潔淨室之間以及潔淨區與非潔淨區之間的壓差好維持；再次，可過濾一部分大顆粒的粉塵。但該種做法也存在隱患。
潔淨區內，各潔淨室之間或區域之間的靜壓值就形成了潔淨區內的壓力梯度。回風口上設置過濾器，增加了回風阻力，回風量減少，增加了泄漏風量，因此形成了潔淨室的靜壓。但隨著回風口上的過濾器容塵量的不斷增加，過濾器的阻力不斷增大，回風量逐漸減少，導致潔淨室的靜壓不斷升高。對於固體製劑等發塵量較大的淨化車間，各潔淨室室內的發塵量差距較大，發塵量較大的潔淨室的回風口阻力的增加速率快於其他發塵量較小的潔淨室的回風口阻力，經過一段時間後，發塵量較大的潔淨室的靜壓值會高於原先靜壓值低於它的潔淨室，根據GMP規定，發塵量較大的潔淨室應維持負壓，如若高於其他房間壓力，可能會造成空氣交叉汙染。此外，過濾器有使用壽命，更換濾網不僅增加成本，同時還有可能損壞彩鋼板封邊。
因此，是否在回風口加裝過濾裝置要根據實際生產情況而定，除了增加過濾器外，還可以通過減小回風口的麵積，並且使回風口可調節，也可以形成潔淨室的靜壓，達到同樣的效果。
4.結語
維持潔淨室穩定壓差是防止汙染物侵入和交叉汙染的有限途徑，隻依靠空間密封來維持潔淨室無菌和潔淨度是無濟於事的，回風夾道的設計對於潔淨區域內各不同級別的潔淨功能間不同的壓力控製有重要影響，因此設計時因結合實際情況考慮多方麵因素，以確保潔淨氣流定向流動，氣流隻能從潔淨區流向非潔淨區，從高一級別潔淨室流向低一級別潔淨室，從同一潔淨室潔淨度要求高的區域流向要求低的區域，隻有保證在任何情況下都能維持潔淨室內有序的梯度壓力分布不變，才能真正有效的控製潔淨度。