潔淨室又可稱作無塵室(Cleanroom),通常用作專業工業生產或科學研究的一部分,包括製造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔淨室的設計是為了保持ji低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說,潔淨室有一個受控的汙染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數來規定。潔淨室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設置了減少微粒汙染和控製其他環境參數,如溫度,濕度和壓力。
在藥學意義上,潔淨室是指符合GMP無菌規範(即EU和PIC/S GMP指南附件1以及當地衛生當局要求的其他標準和指南)中定義的GMP規範要求的房間,是將普通房間轉換為潔淨室所需的工程設計、製造、完成和操作控製(控製策略)的組合。
很多行業會使用無塵室,隻要是小顆粒會對生產過程產生不利影響的地方都會有潔淨室的身影。它們的尺寸和複雜度各不相同,廣泛應用於半導體製造,製藥,生物技術,醫療設備和生命科學等行業,以及航空航天,光學,軍事和能源部中常見的關鍵工藝製造。
潔淨室通過使用HEPA或ULPA過濾器,采用層流(單向流)或湍流(亂流,非單向流)氣流原理,來控製空氣中的顆粒。層流或單向氣流係統將過濾的空氣以恒定的流向下或水平方向引導到位於潔淨室地板附近牆壁上的過濾器,或通過凸起的穿孔地板板進行再循環。