一 般 規 定
9.1.1 先檢查零部件再施工係統,以減少返工。
9.2 線 路
9.2.1 這是為了保證人身和工作(生產)的安全以及維護檢修 的方便,也減少對生產的影響。
9.2.2 穿線管口密封對潔淨室來說尤為重要,這些地方都是壓 力漏泄難以發現之處。
9.2.5 不能圖方便而省去專用接地線直接用線槽跨接,這是由 於可能因線槽質地而影響接地電阻。
9.3 電氣設備與裝置
9.3.2 潔淨室牆體上嵌裝的一切裝置包括配電盤等均應遵守盡 量不突出牆麵、不易積灰的原則。
9.3.3 主要是為了減少一旦檢修時對室內的汙染。
9.3.5 單向流靜壓箱底麵(室內一麵)上穿過螺栓之類而造成 嚴重漏泄並很難補修的孔洞很多,即使焊住也不行,螺紋處仍 漏,加上螺帽,打上膠都難以封住。必須時隻能把螺杆根部焊在