無塵淨化車間，也稱為潔淨室，是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等汙染物排除，並將室內的溫度、濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而特別設計的房間。以下是關於無塵淨化車間的詳細介紹：
設計要求
- 布局規劃
- 區域劃分：依據工藝流程精準劃分區域，按不同工序的潔淨度需求劃分，如芯片光刻環節設為 ISO 1-ISO 3 級的超高潔淨區，普通電子產品組裝區域 ISO 7-ISO 8 級即可。
- 人流物流通道：人員和物料的流動路線嚴格分開，設置單向通道，防止交叉汙染。人員從更衣室、風淋室進入車間，物料則通過專門的傳遞窗、貨淋室清潔後進入。
- 預留空地：考慮企業未來擴張需求，預留一定比例的空地或采用模塊化設計理念，如選用可靈活拆卸、重組的輕質隔牆。
- 公用設施：合理布局空調機房、配電室、水處理間等公用設施區域，確保其靠近使用區域，同時預留擴容空間。
- 潔淨度控製
- 過濾器選擇：根據車間各區域的潔淨等級，超高潔淨區采用 ULPA 超高效空氣過濾器，一般潔淨區選用 HEPA 高效空氣過濾器。
- 氣流組織：單向流適用於對潔淨度要求極高的區域，非單向流則用於相對潔淨度要求低些的區域，通過合理的送回風布局，實現空氣的循環淨化。
- 通風管道：選用耐腐蝕、密封性強的材質，如不鏽鋼管或優質鍍鋅鋼板。管道走向避免死角，合理設計管道坡度，便於排除冷凝水。
- 圍護結構：牆麵多采用彩鋼板，拚接處使用高質量密封膠條。地麵選用防靜電環氧樹脂地麵或防靜電高架地板，與牆麵、設備基礎的交接處也要密封處理。
- 防靜電設計
- 地麵材料：采用防靜電環氧樹脂地麵或防靜電高架地板，釋放靜電，防止靜電積聚。
- 人員防護：人員工作服、工作鞋應具備防靜電功能，如穿著防靜電工作服、工作鞋，佩戴防靜電手環等。
- 設備外殼：設備外殼、操作工具等都應具備防靜電功能，通過接地等措施，將設備和工具上的靜電導入大地。
- 溫濕度控製
- 空調係統：根據車間麵積、空間高度、人員密度以及設備發熱量等因素，科學計算空調係統的製冷量、製熱量、加濕量和除濕量，選擇具備精準溫濕度調節功能的工業空調機組。
- 送回風方式：合理設計空調係統的送回風方式，如下送上回的方式有助於形成穩定的氣流組織，使溫濕度分布更加均勻。同時，在空調管道內設置溫濕度傳感器，實時反饋調節信號，實現閉環控製。
應用領域
- 半導體製造：半導體芯片的生產需要在極其潔淨的環境下進行，任何微小的顆粒都可能導致電路短路或失效，通常需要 ISO 3 級或更高標準的環境。
- 醫療器械生產：特別是植入人體的器械，如心髒起搏器、人工關節等的製造，需要高度潔淨的環境，無塵車間可以為這類產品的生產提供必要的保障。
- 生物製藥：藥品的生產過程中往往涉及多種化學反應和生物合成，任何外來物質都可能導致產品變質或失效，需在無菌環境下生產疫苗、抗體藥物等，防止汙染，確保藥品安全有效。
- 光電顯示：如 LCD、OLED 屏幕的製造，任何微塵都會影響顯示效果和產品壽命，因此需要無塵淨化車間來保證產品質量。
- 精密儀器製造：如高端光學鏡頭、航天航空器件等對潔淨度的要求極高，在無塵淨化車間中生產可以減少塵埃等對產品精度和性能的影響。
施工要點
- 地麵處理：一般先做自流平地麵處理，再鋪設 2mm 厚 PVC 地板等，施工中要注意地麵的平整度和防靜電性能。
- 門窗安裝：門窗安裝與建築、淨化空調、各種管線、照明燈具的結合部位縫隙要密封處理，門窗與內牆麵要平直，結構要充分考慮對空氣和水汽的密封。
- 配件與固定件安裝：所有的配件、隔牆、吊頂的固定和吊掛件隻能與主體結構相連，不能與設備和管線支架交叉混用，防止因微震引起裝飾材料鬆動和灰塵脫落。
- 施工環境控製：施工中應控製施工作業中的發塵量，特別是吊頂和夾牆內部等隱蔽空間，必須隨時清掃。在已安裝高效過濾器的房間，不能進行有粉塵的裝修作業。