電子車間淨化工程概述
電子車間淨化工程是為了提供一個清潔、恒溫、恒濕的環境，以保證電子產品的質量和穩定性。這種工程主要應用於半導體、微電子、光電技術、集成電路、顯示屏、精密儀器製造等領域。
淨化工程的關鍵要素
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空氣淨化係統：
- 電子廠淨化車間通常采用初效、中效、高效三級過濾器來處理空氣。
- 對於不同級別的空氣淨化處理，應選擇合適的過濾器。例如，對於300000級空氣淨化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；而對於100級、1000級、10000級及100000級的空氣淨化處理，則應采用初、中、高效三級過濾器。
- 空氣淨化係統的設計需要考慮風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等因素。
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溫濕度控製：
- 電子廠房的溫度應控製在22℃左右，相對濕度控製在50-60%之間，以防止靜電產生，保護CMOS集成不受損壞。
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噪聲控製：
- 電子製造廠萬級潔淨室內的噪聲級（空態）不應大於65dB(A)。
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正壓控製：
- 潔淨室與室外的靜壓差不應小於10Pa，不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa。
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新鮮空氣量：
- 新鮮空氣量應取補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和，以及保證供給無塵車間潔淨室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3中的較大值。