潔淨度檢測方法與關鍵控製指標
核心檢測方法
- 懸浮粒子計數法：通過激光粒子計數器直接測量不同粒徑粒子濃度，是電子行業最常用方法。
- 微生物采樣法：針對醫藥、食品等領域，通過培養皿沉降或空氣采樣器收集微生物並計數。
- 綜合指標法：結合溫濕度、壓差、風速等參數，如十萬級車間要求≥0.5μm粒子≤350萬個/m³，浮遊菌≤500個/m³。
關鍵控製指標
- 壓差：不同潔淨等級車間之間壓差≥5Pa，潔淨區與非潔淨區≥10Pa。
- 溫濕度：電子廠房通常控製溫度波動±1～2℃，濕度波動±5%～10%，鋰電池幹區需嚴格控製露點。
- 照度：生產區照度≥300Lx，輔助區200～300Lx。
不同行業潔淨度應用差異
- 電子行業：側重粒子控製，如TFT-LCD、半導體需4～5級高潔淨環境。
- 醫藥行業：強調微生物控製，A級區需無菌環境。
- 食品行業：關注交叉汙染，潔淨度等級多為10萬級～萬級[[5]]。