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潔淨室標準和級別概況
2026-04-03潔淨室標準和級別概況
1961年誕生了世界上最早的潔淨室標準即美國空軍技術條令203，並把編製聯邦政府標準的任務交給了原子能委員會的出版機構。1963年底頒發了潔淨室第一個軍用部分的聯邦標準即FS209(按:美國國家標準為ANSI)。從此，美國聯邦標準209即成為國際上最通行、最著名的潔淨室標準。如果說當時通過對各類生產環境潔淨度進行大量調研後得到的認識--潔淨室內塵粒分布規律基本上接近對數正態分布，從而提出了這一分布的平行線關係，是標準203的重要基石，那麽美國的威利斯·華德弗爾德提出的關於潔淨室的層流概念(這不是流體力學上的同一概念)則是標準209的理論基石，也是後來各種潔淨室標準的基礎。
1966年頒布了修訂後的209A，1973年又頒布了修訂的209B，並於1976年再次頒行了209B修正案1。
在這一段時期裏，許多國家也相繼製定了潔淨室的標準，其內容特別是潔淨度分級基本參照美國標準。
但是，由於濫用聯邦標準209B，加之原標準中一些概念不清，以及對所謂10級、1級潔淨度的需要，促使美國修改209B。這一工作首先由IES(美國環境科學協會)發起，經GSA(美國總務管理局)認可和授權，成立了RP-50委員會，包括來自政府、微電子公司、儀器製造廠的人員，潔淨室顧問、潔淨室用戶及潔淨室測試人員，終於在1987年10月27日頒發了FS209C。209C又於1988年6月15日被新的209D所取代，209D又於1992年3月11日被209E取代，見表1-2。
1999年，國際標準化組織製定的國際標準IS014644一1《空氣潔淨度等級劃分》頒布。
ISO標準的潔淨度等級和209E的潔淨度等級差異如下。- 上一篇：機房室內裝飾裝修工程的施工規範
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