
潔淨室的特性
一、亂流潔淨室均勻分布時的靜態特性
通過對含塵濃度均勻分布時穩定式的進一步分析並繪成曲線,可以直觀地了解
各參數對潔淨度的影響程度,起到揭示潔淨室規律的作用。現舉一例,如圖4-7
所示。
從圖4-7中可見:
1在大氣含塵濃度M≤106粒/L以內時,大氣含塵濃度的波動對於100級(209E)及其以下級別的潔淨室的含塵濃度影響極小,也就是說,在大氣含塵濃度為M1時測出的室內含塵濃度,當M1變化到M2時,這一測定結果仍然適用。但是對於級別高於100級(209E)例如10級(209E)的潔淨室,使用常規0.5um級高效過濾時,大氣含塵濃度的變化對室內含塵濃度將有影響。
2室內單位容積發塵量G變化時,對潔淨室含塵濃度的影響,隨著末級過濾
器效率的提高而增加。或者說,對於級別越高的潔淨室,G越是決定室內含塵濃度
的重要因素,比大氣含塵濃度影響更大,所以室內管理越顯得重要。3末級過濾器效率高到一定程度,對提高亂流潔淨室潔淨度級別的作用就顯著減小,所以對於潔淨度要求不是很高的潔淨室,可以采用效率稍低而阻力、價格也低的末級過濾器,如亞高效過濾器,這對於拓寬潔淨室的使用領域是有
司的。
4換氣次數n和室內含塵濃度成直線關係,並且末級過濾效率7越大,n的彡響越大;反之末級過濾器性能越差,n的影響也越小,即此時單純靠增加換氣次攵收不到明顯效果。同時,室內發塵量越大,n的作用也越大。
二、不均勻分布時的靜態特性
由式(4-8)可以繪製一組曲線,反映不均勻分布係數和潔淨室I.個性參數


現舉如圖4-8所示的一組曲線為例。從這些曲線中可得到不均勻分布時的潔淨室特性有以下幾點。
內整個高度和斷麵上,都是平行單向氣流而無渦流區,因為
1對於單向流潔淨室,假定過濾器滿布比達到100%(連邊框都沒有),則在室

這好比是一段過濾器試驗管道,過濾器後管道內的含塵濃度隻決定於過濾器送
風濃度,當然這是理想的情況。
2假定過濾器不是100%滿布,而有一個比例(即滿布比),此時就有渦流區,隨著這一比例的減小,4、V。都要增大,β要減小,則Nv也要增大,說明滿布比不同的平行流潔淨室,其含塵濃度是不同的,用式(4-4)可以計算。同樣,人員密度不同的單向流潔淨室含塵濃度也不同,所以單向流潔淨室的人員數量還是要適當
控製的。
3對於不同的亂流潔淨室,主要是主流區的大小、渦流區的大小和引帶風量的大小不同,例如散流器的擴散角比高效過濾器風口大一些,因而V。小些,也大些。這就反映了不同亂流潔淨室在含塵濃度上的差別。4在所有情況下,β越大,不均勻係數越小。這說明,如果將塵源盡量設置在主流區內,則潔淨室的平均含塵濃度越小。
5對於亂流潔淨室,由於一一般在0.5以上,則4越大,不均勻分布係數
越小,越接近於1。這說明,對於亂流潔淨室,希望風口的引帶比大,這樣室內氣
流混合較好,以達到盡量均勻稀釋的作用,因而含塵濃度更接近按均勻分布公式

計算的結果。
對於單向流潔淨室,由於V<0.1,則越小,不均勻分布係數中越小於1。這說明,對於單向流潔淨室,氣流已經是平行流動,就不希望引帶氣流太大以致擾亂單向流;相反,引帶氣流越小,單向平行流越穩定,含塵濃度越低。6由於塵粒不均勻分布這一固有特性的影響,實測濃度值之間的差別在1倍
之內是允許的,由於濃度場的這一不均勻性,建議測定應多點多次地進行。
7據計算,不均勻分布和均勻分布濃度之比即不均勻分布係數4,對於亂流潔
淨室一般波動士0.5,也就是說,按均勻分布法計算的結果若和實測濃度相差在半
倍以內,不一定是計算的問題,因為仍在不均勻分布的波動範圍之內,是允許的。8均勻分布時n和N的關係如前所述為直線,而不均勻分布時則是折線,如圖4-9所示。這是由於真正的室平均濃度即不均勻分布的室平均濃度,可比均勻分布的室平均濃度大(即>1),也可以比它小(即<1)。一般當n小於60次時,中大於1,反之小於1,因此n和N成為折線關係。
