根據建築專業提供的建築平麵圖，工藝專業提供的工藝設備平麵圖和工藝對各潔淨室的潔淨度，溫、濕度等環境的要求，即可進行淨化空調係統的劃分工作。
（一）淨化空調係統的劃分原則
1、潔淨度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔淨房間宜劃為一個淨化空調係統。便於潔淨度和溫、濕度的控製。
2、距離較近的潔淨房間宜劃為一個係統，可減少係統管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將 4 級、5 級單向流和 6 級、7 級、8 級非單向流組成混合流淨化空調係統。
4、潔淨室不宜與一般空調房間合為一個係統。
5、使用規律和使用時間不相同的潔淨室不宜合為一個淨化空調係統。
6、產塵量大、發熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個係統。 7、混合後會產生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個淨化空調係統。 8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設係統，而且應為不回風的直流係統。
9、一個淨化空調係統不易過大。一般情況下，淨化送風量不宜超過 100,000 m否則空氣處理設備過大、噪聲大、送回風管道大、占空間和麵積大，使用也不靈活。
10、淨化空調係統劃分時還應考慮到送風管、回風管、排風管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理、短捷、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊。 11、淨化空調係統新風的熱濕和淨化處理可集中也可分散設置。
（二）工藝設備局部排風係統的劃分原則
1、工藝設備的局部排風係統不宜過大，每個排風係統的排風點數不宜過多，這樣排風管理調節方便，排風效果好。
2、一個排風係統不宜跨在兩個或兩個以上的淨化空調係統。
3、混合後產生劇毒、爆炸、火災、凝水、結晶和有害物的排風不應合為一個排風係統。
4、使用規律不同房間和設備的排風不應合為一個排風係統。
五．潔淨室淨化空調係統送風型式的比較選擇
（一）淨化送風和空調送風合一的送風型式，通常也稱作集中式送風型式。此方案的淨化空調機組（空氣處理機組 AHU）集中設置在空調機房內，全部的淨化空調送風均在淨化空調機組內進行淨化和熱、濕處理，然後由龐大的送風管道將全部的送風輸送到潔淨室的吊頂上部，再經過設在潔淨室吊頂上的終端高效過濾器或高效過濾器送風口過濾後送到潔淨室內，來實現潔淨室工藝生產所需要的溫度、濕度、潔淨度和房間的壓差，潔淨室的回風經回風口、回風管再接回到空調機房的淨化空調機組內與新風混合後重複進行淨化和熱、濕處理。
此方案又可分為全新風送風方案（直流係統）；一次回風方案；一、二次回風方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的淨化空調送風型式。這種送風方案是當前潔淨室特別是非單向流潔淨室應用最廣泛的淨化空調送風方案。這種送風方案的係統劃分明確，風量和溫、濕度控製調節都單一。
但是潔淨度級別較高、送風量較大時，存在著空調機房占麵積大，送、回風管體積大占麵積和占空間大，送、回風管道長，送風機的餘壓高，噪音大,風量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風方案較適用在低級別的非單向流潔淨室的送風，對 5 級以上的單向流潔淨室送風就不太經濟合理了。
1. AHU 全新風的淨化空調送風方案（直流係統）
全新風淨化空調送風方案是用於特殊的不允許回風的潔淨室的送風方案中。 如：潔淨室內工藝生產類別為甲、乙類火災危險等級或工藝過程產生有劇毒等有害物不允許回風的潔淨送風係統中。
2.AHU 一次回風的淨化空調送風方案
一次回風的送風方案多用在潔淨室內的發熱量或產濕量很大，消除室內餘熱或餘濕的送風量大於、等於或近於淨化送風量的低潔淨度等級的非單向流潔淨室中。
3.AHU 一、二次回風的淨化空調送風方案
為了節能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消，在潔淨室淨化送風量大於其消除餘熱、餘濕的空調送風量時，最好采用一、二次回風方案，將二次混合點設計在係統送風點上,該方是最節能、最經濟的送風方案。
4.MAU+RAU 的淨化空調送風方案
此方案多用於多個潔淨室其潔淨度，溫、濕度要求不同，室內的產熱量和產濕量也不盡相近，為了確保每個潔淨室的潔淨度，溫、濕度及其精度的要求,就要設置多個循環機組,循環機組的送風量是淨化送風量,並且在機組內設置必要的熱、濕處理設備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔淨室溫、濕度精度的微調節。由於循環機組設在潔淨室的吊頂上麵，循環機組的送風餘壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小；但是，要注意循環機組的凝結水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結水排放的處理上。
此方案的新風機組設在空調機房內，這些潔淨室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行淨化和熱濕的集中處理。然後分配到每一個循環機組內與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔淨室的排風還要保證每個潔淨室的正壓。新風機組的熱濕處理最好到某潔淨室空氣的機械露點上，如果將新風熱濕處理點低於潔淨室的機械露點作到新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔淨室的濕負荷也消除掉，此時循環機組內的表冷器可為幹式表冷器。 （二）、淨化送風和空調送風分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風方案。為了大大地節省運行時的能耗，將消除潔淨室內餘熱、餘濕的空調送風量（通常大大地小於潔淨室的淨化送風量），由設在空調機房內的新風機組(MAU)進行必要的淨化和熱濕處理，而將占總送風量 50~90%的保證潔淨室潔淨度的淨化送風量由設在潔淨室附近的循環機組進行淨化和補充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的 FFU（風機過濾器機組）和幹盤管來解決潔淨室的潔淨度等級和溫度的微調節。
此種淨化送風與空調送風相分離的送風方案，不僅可節省運行的能耗，而且大大地減少了空調機房麵積，省掉了龐大的送、回風管道，降低了潔淨室的空間高度。此種淨化空調送風方案又可分為：空調機組(AHU)加風機過濾器機組(FFU)方案,新風機組（MAU）加循環機組（RAU）加（FFU）方案；新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加幹冷盤管(DC)方案等三種送風方案。
1． 空調機組 AHU(MAU）加風機過濾器機組（FFU）的淨化空調送風方案此方案中淨化空調係統的全部熱、濕負荷（潔淨室內產生的熱、濕負荷及新風的熱、濕負荷）全部由設在空調機房內的空調機組來負擔。此時，空調機組的送風量是消除本係統餘熱、餘濕的空調送風量（其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小於保證潔淨室潔淨度等級的淨化送風量），它應能確保潔淨室內的溫度和相對濕度的恒定。而該潔淨室的潔淨度由設在潔淨室吊頂上的風機過濾器機組（FFU）將淨化送風量就地循環過濾來保證。此方案中應該注意的是，FFU 運行過程中所產生的熱量也應由空調機組來承擔。此方案更適合用於在大麵績非單向流潔淨室內有局部的垂直單向流的混合流潔淨室中。
2． 新風機組（MAU）加循環機組（RAU）加風機過濾器單元（FFU）淨化空調送風方案，此方案多用於多個潔淨室其潔淨度，溫、濕度要求不同，室內的產熱量和產濕量也不盡相近，為了確保每個潔淨室的潔淨度，溫、濕度及其精度的要求,就要設置多個循環機組,循環機組的送風量是淨化送風量,並且在機組內設置必要的熱、濕處理設備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔淨室溫、濕度精度的微調節。由於循環機組設在潔淨室的吊頂上麵，循環機組的送風餘壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小；但是，要注意循環機組的凝結水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結水排放的處理上。此方案的新風機組設在空調機房內，這些潔淨室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行淨化和熱濕的集中處理。然後分配到每一個循環機組內與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔淨室的排風還要保證每個潔淨室的正壓。新風機組的熱濕處理最好到某潔淨室空氣的機械露點上，如果將新風熱濕處理點低於潔淨室的機械露點作到新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔淨室的濕負荷也消除掉，此時循環機組內的表冷器可為幹式表冷器。
當多個潔淨室中有若幹個 1 級、10 級、100 級等高淨化級別的垂直單向流潔淨室時，為了減少循環機組（RAU）的負擔和送、回風管道的斷麵，此時循環機組僅解決該單向流潔淨室的空調送風量，以保證潔淨室的溫度、相對濕度和潔淨室的正壓，而占 90％以上的絕大部分送風量有設在潔淨室吊頂上的 FFU 來負擔，以保證潔淨室的高潔淨度級別。
3． 新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加幹冷盤管(DC)的淨化空調送風方案此方案是新風機組將新風處理到潔淨室熱濕比 線與相對濕度 95%線交點以下，新風機組不僅將本身的濕負荷去掉，而且還負擔潔淨室內產生的濕負荷，新風機組要確保潔淨室所需要的相對濕度。而新風機組熱處理不足部分的幹冷負荷將由設在潔淨室吊頂上（或夾道內）的幹表冷器來補充。因幹表冷器是設在 FFU 循環空氣通過的吊頂上或夾道內，因此，幹表冷所彌補的幹冷負荷被循環空氣帶到潔淨室內。由新風機組處理過的新風用管道以最能與 FFU 循環空氣均勻混合的方式送到潔淨室的送風靜壓箱內。
FFU 布置在潔淨室的吊頂上，與新風混合的循環風經 FFU 被高效過濾器過濾後送到潔淨室內，以保證潔淨室的潔淨度。FFU 的規格以 1200mm×600mm 和 1200mm×1200mm 居多，其斷麵風速應為≥0.45m/s，餘壓應≥120Pa，噪聲應≤50dB(A)為好。
FFU 的風機風量應可調，高效過濾器應可更換。幹冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距≥3mm，阻力損失應為 30~40Pa，循環風通過幹盤管的麵風速< 2m/s，最好為 1.5m/s。進入幹盤管冷水的進水溫度應高於潔淨室露點溫度 2℃,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫幹盤管，但在起始運行時還可能有凝結水產生，因此幹盤管還應有凝結水滴水盤和排水措施。
此方案中，潔淨室的相對濕度由新風機組（MAU）來保證，潔淨室的溫度由幹冷盤管來保證，潔淨室的潔淨度由 FFU 來保證。這種 MAU 加 FFU 加 DC 的淨化空調送風方案，目前在我國和外國的微電子（集成電路）工業、光電子（TFT-LCD、LCD、LED 等）工業等大麵積、高潔淨度等級的潔淨廠房中得以廣泛應用，它具有調節方便，節能顯著，適應工藝的更新換代，又大大地節省了非生產麵積和非生產空間的優點。而且，隨著潔淨技術和潔淨設備的不斷發展和進步，FFU 風機的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平,但運行費卻大大節省。