1、潔淨室的淨化空調係統至少應有初效、中效和高效過濾器三級過濾措施。尤其是在終端應有高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)。
2、潔淨室送風應有足夠的空調(消除室內餘熱、餘濕)和淨化(保持潔淨度)送風量。其送風量不僅能消除室內的餘熱和餘濕,保證室內的溫度和相對濕度,同時還能消除或稀釋室內的粒子汙染,保證室內的潔淨度要求。
3、潔淨室必須建立和維持必要的相對壓差(正壓或負壓)。
4、潔淨室應有合理的氣流流型,以保證其室內的潔淨度和溫、濕度等參數。
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