淨化工程未來發展和應用趨勢
潔淨技術又稱為生產環境和汙染控製技術，是近些年隨著高新技術發展起來的一門綜合性的新興科學技術。潔淨技術通常包括：空氣淨化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術、微量雜誌控製技術、潔淨環境的檢測技術及相關的環境的控製技術。淨化工程技術在電子、核子、航空航天、生物工程、製藥、精密機械、化工、食品、汽車製造等高科技工業領域及現代科學領域中得到廣泛應用。
對於半導體設備來講，淨化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路。而集成電路的生產對其工藝環境和工藝流程中的淨化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發展以微電子為重點的信息產業。淨化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區科學技術水平和工業水平的一個重要標誌。
隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環境及生活質量提出了越來越高要求，用水純化設備製備的高純水已受到人們普遍歡迎，淨化工程技術已經開始進入千家萬戶，進入人們的現代生活。
我國的潔淨技術和設備與國外先進國家相比差距是明顯的，我國1965年才開始生產的HEPA過濾器，比國外了十五年。1975年開始生產的光散射塵埃粒子計數器比國外晚了二十年。0.1微米潔淨技術和設備在國際上先進國家已成為成熟技術，我國則剛剛起步。
世界各工業先進國家為適應超淨技術的發展，對大量使用的高效過濾器的研究從未終端，幾年來一直在開發不同結構不同性能的新產品，美國自1979年開始研製0.1微米ULPA過濾器，1984年美國AAF公司開始生產0.1微米無隔板ULPA過濾器，目前0.1為嘛ULPA過濾器在美國AAF公司、FLANDERS公司和CAMBIDGE公司已形成商品化生產。日本也已成為世界上生產0.1微米ULPA過濾器廠家最多的國家，品種發明多，產品係列化，尤其是低壓損型0.1微米ULPA過濾器的開發成功解決了初阻力大的技術難題。國際市場對高效空氣過濾器的需求量很大，且每年均有增長，目前日本每年銷售超過100萬台，按每台平均價格200美元計算，銷售額達2億美元。我國高效空氣過濾器市場需求量已接近每年10萬台，占國際市場的2%-4%，但至今還沒有0.1微米ULPA過濾器生產，用於超大規模集成電路生產潔淨廠房及各種高科技領域潔淨廠房的0.1微米ULPA過濾器目前還要以來進口。