潔淨廠房內特種氣體和化學品泄漏探測係統
潔淨廠房由於使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會帶來很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶櫃內部、溶劑間、溶劑輸送櫃內部、SUBFAB、閥門箱和生產區均應按輸送介質以及介質危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR）（紫外線/紅外線）探測器等。
潔淨廠房由於使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會帶來很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶櫃內部、溶劑間、溶劑輸送櫃內部、SUBFAB、閥門箱和生產區均應按輸送介質以及介質危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR）（紫外線/紅外線）探測器等。